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Tuesday 20 September 2016

日本垮下的另一个半导体产业——光刻机



半导体业者都知道,光刻机是现代芯片制造不可或缺的重要组成。在很多年以前,日本巨头尼康和佳能在这个市场依然有很重要的地位的。但后来荷兰的ASML逐步将尼康打的毫无还手之力,取得三星、台积电和Intel的认可,并在下一代的EUV光刻机上取得了绝对的领先优势,可以断言,尼康的光刻机和很多日本企业一样,已经走向了一个尴尬的境地。

尼康和ASML的现状对比

尼康现在之所以还算一家半导体设备供应商,那是因为尼康的屏幕面板光刻机业务还在正常运营(尽管面板光刻机是个小众市场,技术要求比芯片光刻机低很多,微米级就够了)。

以前尼康也卖过一些光刻机给intel,可是现在先进制程设备采购上,intel看不上尼康的光刻机,想扶一把也没用。现在尼康精机部门就是靠着面板光刻机撑着,毛利润时而有,时而无,亏损是常事,某个季度一旦扭亏,尼康精机就会显示为业绩增长百分之好几百。(从亏损1亿到扭亏赚了1亿,请问业绩增长多少?)

尼康最新的Ar-F immersion 630卖价还不到ASML Ar-F immersion 1980D平均售价的一半,更别说和ASML划时代的EUV 光刻机比了。ASML 第12台EUV光刻机发货中。(EUV才是人类文明 半导体技术延续 的基石)

2016年Q2 Q3 ASML ship出去的两台 EUV NXE 3350B 单价已经超过1亿美元, Ar-F immersion价格 平均价位是4000万欧元~5500万欧元左右,以上是算进了refurbished的machine,如果不算,应该更高,

下面仔细分析下2015年和2016年 的ASML 季度各个销售机型数量和销售额(不包括 solution 的收入)

在ASML的2015年Q4季度报中,ArF Immersion 共销售11台,销售额881million 欧元 乘以72%(不包括solution收入),

算下来平均每台售价达到5800万欧元,约合7300万美元.

如下报表,ASML的 Ar-F immersion 在Q1销售15台,销售额856million euro乘以 79%(不包括solution部分).

每台价格 约4200万欧元。

其中ASML 在 2016年Q2季度销往美国芯片厂的占21%,销往韩国新品厂占20%,销往台湾芯片厂的占28%

几本就是ASML三大优先客户: intel、三星、台积电 三巨头争霸的格局

值得注意的是2016年Q1的ASML销售额中,有35%销往中国,除了三星在西安的超大型3D 10纳米级NAND芯片厂扩产外 和intel在大连的芯片厂升级外,中国本土厂商也买到了ASML的光刻机(不过由于北约的瓦森纳协议限制,中国只能买到中低端ASML光刻机). 这是中国外交的一大突破.

尼康的芯片光刻机惨不忍睹,算上尼康的面板光刻机(至少比佳能强多了),一共33台,平均单价只有14亿日元多(其中包含了solution的销售额,扣除solution销售额尼康的单机价格更低),单价只相当于ASML价格的三分之一。

这个季报里面,尼康精机销售额更少了才354亿日元,即使尼康精机有面板光刻机撑着,断断续续的亏损也还是常事,12台 5G/6G 的面板光刻机总算填补了财报窟窿,勉强有毛毛雨般的毛利润。(才33亿日元)

可以断言。如今ASML的芯片光刻机已经把日本的芯片光刻机厂商尼康和佳能都踩烂了,芯片光刻机进入EUV时代,ASML从此奠定垄断地位,佳能直接退出芯片光刻机领域了,仅保留低端半导体的i-line 和Kr-F 光刻机。尼康还在垂死挣扎。半导体先进制程垄断三巨头(台积电,三星,intel)就是ASML的股东,拥有ASML的EUV光刻机的优先供货权。

尼康光刻机是怎样步步走向灭亡

据一位曾在半导体晶圆厂工作过的人员表示, 从其进入半导体行业起,尼康的芯片光刻机就在逐渐衰落,而荷兰ASML则一步步占据市场统治地位,尼康光刻机唯一剩下的优势就是同类机型价格不到ASML的一半。但英特尔在新制程中停止采购尼康的光刻机给了尼康致命一击。据了解,所有主流半导体产线中只有少数低阶老机龄的光刻机还是尼康或者佳能,其他基本都是ASML的天下。

据这位行业人士透露, Intel新CEO上台后,不再延续与尼康的620D合同,尼康推出了630D后,intel也无动于衷,尼康投标失败。尼康光刻机的小问题不少,trace 判定能力不行,经常出错。troubleshooting时非要有特定经验的人才能凭第六感觉判断问题。而且不能做到真正意义上的scan 和 etching 同步,这与ASML的dual scan 差太远,还有一系列小问题时而在不同的尼康机型上发生,操作系统上设计的架构有缺陷,这些虽然是原因之一,但都不是尼康的致命问题,

最致命的就是尼康620D在黄光之后做不下去。overlay实际效果和尼康官方的specification 差了一大截。这个是process engineer 们不能容忍的,先进制程本来就是烧钱的,成本不在边际考虑因素中,鉴于现状,technical support 团队是不能容忍采购团队为了省成本而去采购尼康光刻机。

在其工作的FAB,两台尼康620D都是这个情况,这还是他们尼康销售人员低价打进来的两台设备,晶圆厂自然不满意,也就没有再尝试买尼康的ArF 浸润光刻机,直到现在,高精度 etching 和scan 环节仍然都是ASML光刻机。而在低阶的KrF 光刻机上采购上偶尔会选择佳能,因为超级便宜,并且这个DRAM的第一步etching 环节根本没有太高技术要求。

有人则认为日本人的工匠精神拖累了尼康。

    @中科大胡不归:尼康就是被工匠精神给害的

    对你没有看错,就是被工匠精神害了,工匠精神就是被媒体炒得情怀满满、逼格高,实则是日本失落20年的罪魁祸首。日本除了少数小众领域可以吃老本,其他领域都明显衰败。被情怀媒体炒作的所谓 “工匠精神”恰恰是日本僵尸经济的病因之一。

    工匠精神会形成企业的自我路线束缚,与日本社会分工固化 相辅相成,互为副产物。日本的社会分工固化已经到了令人发指的地步。企业的 工匠道德绑架 无形中把 日本产业链的路线逼到了非主流。(因为主流技术路线一直都在被 美利坚 和 以色列颠覆,不应变就会沦为非主流)当技术路线和企业战略走错方向,技术联盟站错队时,后果可想而知,再多努力都是徒劳,再多的精雕细琢都是浪费资源、徒增债务,有些日企甚至是撞了南墙也不回头。某些日本的失败技术路线如等离子体面板、交叉射频、蓝光等撞了南墙后想回头也没机会了,太晚了。

    工匠精神是“果”,那么“因”就是如今这个固化的日本高度成熟封建社会,子承父业,孙承祖业,渔民的后代永远是渔民,刀匠的后代永远是刀匠,政客的后代永远是政客,和尚的后代永远是和尚(日本特色,滑稽),纹身师的后代永远是纹身师。。。。。至少也是必须有一个长子继承家业。甚至三井三菱财团的一些老企业中出现了类似东北国企中的家族三代同社现象,这个因果关系要是在历史中溯流而上推导,只能说没有科举制度的 古代日本史把日本塑造成没有阶级流动的社会(明治维新这种特殊历史时期除外),武士的后代永远是武士,匠人的后代永远是匠人,渔民的后代永远是渔民,猎人的后代永远是猎人。。。。。,总之资源配置毫无流动性。

    在工艺品时代也许这套社会体系能给日本带来他们自己都想象不到的辉煌,但是从互联网时代开始,以美国、以色列推动的无序产业变革逐渐打碎这一切,仿佛历史底蕴的积累在蛮荒者面前显得弱不禁风。事情不仅仅是工匠社会的日本无缘互联网技术潮流那么简单,互联网革命意味着一系列经济模式革命、商业策略创新和劳动分工流转,新兴商业概念如专利流氓律师团、产业链一波流、山寨推塔流、技术标准合纵连横、订单卡位等等层出不穷。不随机应变则必死无疑。

    更重要的是互联网使得全球的开放经济体的idea更容易传播共享,思想颠覆更频繁,产业变革会以分布式的方式加速进行。工匠精神不仅难以受益,而且被工匠精神固化的经济体会受到更高频率的变革冲击。

    而日本社会的补救方法反而是进一步加强对这种固化体制的保护,简直是逆潮流,“大而不能倒”已经是让很多国家的经济界烦恼的一件事了,日本不仅有“大而不能倒”,还有“老而不能倒”,日本社会的百年老店怎么能倒?即使是三井三菱财团以外没爹没娘的老字号或者百年小作坊,就算负债超过200%还是得硬撑,申请破产难于上青天,且上游供应商的工匠圈和下游采购商的工匠圈都不希望失去一个高度匹配的熟悉事物。一但某个产业衰落,整条泛产业链的社会资源利用效率就越发低下;而且产业上下游互相拖后腿,匠人精神往往造成产品线在上游对本土特定供应商过度依赖,在下游对特定采购商过度依赖,说的直白点,某些工匠换个产品设备线或商业规则就不会做了。

    例如:荷兰芯片光刻机霸主ASML公司打残了日本尼康佳能的芯片光刻机,从此ASML垄断了全球光刻机中高端市场,结果却导致整个日本的半导体产业都溃败了,破坏范围超过华尔街的最初预期,事后总结的原因之一就是匠人精神导致日本产业供应链固化,一个堡垒失守,整个王国沦陷。

下图是荷兰ASML公司颠覆时代的EUV光刻机NXE 3350B示意图,单价超过6亿人民币,现货还要等,一场变革让日本无数的工匠们的心血化为乌有,且随时担心丢饭碗。

如今的半导体三巨头(intel,三星,台积电)是荷兰ASML的股东,拥有优先提货权。所以有人说ASML的霸主地位结束了日本电子时代,才成就了今天的半导体三巨头。但也有人反过来思考,认为正是半导体三巨头(intel,三星,台积电)的工程师当初不安于现状才成就了ASML的光刻机霸主地位。20年前的intel,三星,台积电的工程师们也许只能和尼康佳能的光刻机打交道,被迫接受着日本工匠式的教条灌输和培训,但他们一直想着换花样。光刻机从immersion革新到dual scan 这种异想天开的方案,当时面临很多风险,背后的市场需求支撑就是intel、台积电、三星工程师的各种天马行空般尝试,扰乱利益关联产业链的代价是必须的。被日本工匠们鄙视为不踏实的浮躁韩国工程师,美国工程师,台湾工程师和ASML那些异想天开的天才们一同埋葬了日本的半导体产业。

不知道尼康的步步落后是日本半导体产业的发展策略,还是跟不上时势,有一点可以肯定的是,ASML已经牢牢把握了光刻机,尤其是下一代7nm光刻的入口,届时尼康和佳能将无任何挑战其地位的武器。和日本很多其他半导体产业一样,他们又失去了一个曾经引以为傲的资本。

其实中国也有一些厂商在做光刻机,但具体状况我不是很了解,希望有相关读者能够提供信息给我们,报道一下国内光刻机现状。